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Sylvac收購TESA(海克斯康)產(chǎn)品線 Sylvac收購TESA(海克斯康)產(chǎn)品線 SYLVACSAhasjusttakentheimportantdecisiontoexpanditscurrentproductlinebylaunchingnon-contactopticalmeasuringsolutions.Thisnewstrategywillbeeffectiveveryquickly,sinceSylvacSAacquired2divisionsbelongingtotheTESA(HEXAGON)group:TESA-SCANandTESA-VISIO.Frommid-June,theseproductswillbedeveloped,manufacturedandassembledintheSYLVACCrissier(Lausanne)factoryandsoldundertheSYLVACbrandfromJuly. SYLVAC公司剛剛作出了拓展產(chǎn)品線的重大決策:推出非接觸式光學(xué)測量解決方案。自從Sylvac公司從TESA(海克斯康)集團(tuán)收購2條產(chǎn)品線:TESA-SCAN和TESA-VISIO,這個(gè)決策有效且快速的補(bǔ)充了Sylvac公司的產(chǎn)品系列。 從六月中旬開始,TESA-SCAN和TESA-VISIO的開發(fā),制造和組裝將在SylvacCrissier(Lausanne)工廠,并且將于七月開始從Sylvac銷售。 更多產(chǎn)品信息和資料,您可以從丹青公司獲取。 更多產(chǎn)品信息和資料,您可以從丹青公司獲取。
市場僅見!基于對瑞士制造品質(zhì)的信心,Sylvac對S_Dial Work和S_Dial Pro系列數(shù)顯表提供終身保修。這個(gè)令人難以 置信的保證!僅需要在購買后30天內(nèi),在我們的網(wǎng)站上注冊您的儀器,您就可以享有了。 Sylvac質(zhì)保產(chǎn)品系列: Sylvac S_Dial Work Sylvac S_Dial Pro
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丹青Fulcrum 便攜式形位測量儀丹青Fulcrum便攜式形位測量儀,具有緊湊便攜的設(shè)計(jì),使其能夠在車間現(xiàn)場機(jī)床附近使用。只需 要單相電源,無需壓縮空氣,手動(dòng)掃描零件后,關(guān)鍵特征會(huì)自動(dòng)識別,尺寸也會(huì)自動(dòng)顯示。直觀的 Aberlink測量軟件和創(chuàng)新的設(shè)計(jì),即使沒有操作經(jīng)驗(yàn),您也可以很快的使用Fulcrum進(jìn)行測量。產(chǎn)品特點(diǎn): ◆ 適用車間/測量室 ◆ 緊湊便攜式設(shè)計(jì) ◆ 只需單相電源,無需壓縮空氣 ◆ 尺寸和形狀連續(xù)掃描測量 ◆ 在測量范圍內(nèi)精度5μm ◆ 紅寶石球測針直徑?2/3/6mm ◆Aberlink最容易使用的測量軟件技術(shù)參數(shù): 應(yīng)用案例:
瑞士丹青GBT-100自動(dòng)量塊比較儀,采用絕對測量和比對測量相結(jié)合方式對量塊進(jìn)行檢定,德國HEIDENHAIN大范圍測量傳感器,全程范圍內(nèi)任意25mm內(nèi)可采用絕對測量,自動(dòng)測量量塊的中心偏差和長度變動(dòng)量,提高測量效率減少人工或測力帶來的測量誤差,測量方式簡單,軟件界面清晰,測試結(jié)束可自動(dòng)生成檢測報(bào)告 。主要特點(diǎn):◆ 帶筋陶瓷工作臺,確保量塊無劃傷和磨損◆ 傳感器量程大直接測量25mm量塊◆ 高精度傳感器,確保數(shù)據(jù)穩(wěn)定可靠◆ 大理石基座保證儀器高精度運(yùn)行◆ 自動(dòng)測量提高測量效率減少人工帶來的測量誤差◆ 測量方式簡單,軟件界面清晰◆ 量塊夾具更換快捷方便,XYZ三軸實(shí)現(xiàn)聯(lián)動(dòng)測量◆ 專用保護(hù)裝置確保測量時(shí)量塊不易傾斜
1.采用整體設(shè)計(jì) - 即使在高功率下也能實(shí)現(xiàn)小焦斑測量,因此可以進(jìn)行高分辨率的快速測量2.X射線源結(jié)合了封閉式和開放式微焦點(diǎn)X射線管的優(yōu)點(diǎn)3.停機(jī)時(shí)間和運(yùn)營成本最小化4.與傳統(tǒng)三坐標(biāo)測量機(jī)一樣,整個(gè)設(shè)備的維護(hù)周期僅為一年5.OnTheFly 斷層掃描和實(shí)時(shí)重建可實(shí)現(xiàn)快速測量6.符合 VDI 2617 標(biāo)準(zhǔn)的校準(zhǔn)可獲得可靠且可追溯的測量結(jié)果,可選配 DAkkS 證書技術(shù)規(guī)格設(shè)計(jì)類型帶計(jì)算機(jī)斷層掃描傳感器的 3D CNC 坐標(biāo)測量機(jī)測量范圍最大工件尺寸 D = 289 mm / L = 456 mm(取決于工件的縱橫比)準(zhǔn)確性允許的長度測量偏差高達(dá) 3.5 µm
Extol 現(xiàn)場三坐標(biāo)與renishaw雷尼紹Equator?比對儀相比。現(xiàn)場三坐標(biāo)忠實(shí)于Aberlink的創(chuàng)新傳統(tǒng),Extol是使用delta(數(shù)控加工機(jī)制)機(jī)制的三坐標(biāo)測量機(jī)。 其專為堅(jiān)固性和可靠性而打造的設(shè)計(jì),使得Extol三坐標(biāo)測量機(jī)無論是 在機(jī)床旁、制造車間或是專項(xiàng)精測間都能夠全天候24小時(shí)運(yùn)行。 五個(gè)溫度傳感器同時(shí)監(jiān)控機(jī)器和環(huán)境溫度,確保Extol 能夠在不受控制 的環(huán)境中運(yùn)行,并報(bào)告測量結(jié)果,就好像它們是在20℃.下進(jìn)行的一 樣。如果溫度變化速度不利于合理的計(jì)量實(shí)踐,軟件即發(fā)出警報(bào)。 Extol 的自動(dòng)工具補(bǔ)償校準(zhǔn)與Aberlink 3D軟件的完美配合,使其能夠被 運(yùn)用在制造環(huán)境中的的全自動(dòng)進(jìn)程的一部分。Extol的人體工程學(xué)也是一個(gè)重要的設(shè)計(jì)因素。它不僅可以快速方便地 進(jìn)行單次性檢測,而且可以進(jìn)行批量檢測或便于自動(dòng)裝載。與前代Xtreme相比,Extol的測量體積更大,總占地面積更小,可以精確定位 在需要測量的位置。 Extol三坐標(biāo)測量機(jī)穩(wěn)健、準(zhǔn)確、可靠,是自動(dòng)驗(yàn)證關(guān)鍵部件零件質(zhì)量的完美解決方案。?全密封循環(huán)軸承,在機(jī)床市場上得到驗(yàn)證,顯著提高平滑度和抗灰塵能力。 ?直接耦合的皮帶傳動(dòng)系統(tǒng)消除了齒輪箱的需要和任何相關(guān)的齒隙問題。 ?瑞士制造的直流電機(jī)和新的Deva運(yùn)動(dòng)控制系統(tǒng)提供了車間三坐標(biāo)測量機(jī)檢查所需的可靠性。 ?光滑的皮帶傳動(dòng)和線性軸承保障了長觸針在使用時(shí),不因振動(dòng)而出現(xiàn)誤觸發(fā)。 ?自動(dòng)刀具補(bǔ)償校正和自動(dòng)化選項(xiàng)使得一體化能完全融入到全自動(dòng)生成車間 。 ?自動(dòng)溫度補(bǔ)償允許Extol在不受控的環(huán)境中操作運(yùn)行并確保報(bào)告的測量結(jié)果與在20°C下測量的結(jié)果一樣。 ?Extol采用應(yīng)變儀技術(shù),可支持TP200Bp它不顯示大范圍的特點(diǎn),使其成為高精度應(yīng)用的理想選擇。此外,與TP20相比...
TRIMOS V9數(shù)顯測高儀是高精度的測高儀,廣泛的應(yīng)用于計(jì)量室、車間現(xiàn)場。TRIMOS V9同V7一樣,盡管這都是一臺全新的測量儀器,但TRIMOS一直以來秉承著一個(gè)理念,儀器使用簡單,用戶短時(shí)間內(nèi)就可完全掌握。TRIMOS為V9測高儀配備的觸摸顯示器擁有技術(shù),簡化了使用界面。并且極少數(shù)的功能鍵卻滿足了所有測量要求,從而為用戶提供了一個(gè)簡潔明了的操作界面。從側(cè)面插入測頭這一方式,為TRIMOS帶來了非凡的影響。其具有極強(qiáng)的靈活性、堅(jiān)固性、使用范圍可達(dá)到驚人的400mm的傳感器進(jìn)行測量。V9測高儀配備了革命性的技術(shù),采用手動(dòng)與電動(dòng)一體操作手輪。用戶可以相互切換模式。  ?測量范圍400~1100mm?特殊的精度等級?電子測力調(diào)節(jié)?手動(dòng)或者自動(dòng)位移操作?2D模式、編程測量、數(shù)據(jù)統(tǒng)計(jì)?大量程附件?所有調(diào)整均無需工具?RS232和USB接口
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應(yīng)用案例 Case
說明: 丹青科技 Werth 血管支架測量系統(tǒng),精準(zhǔn)賦能醫(yī)療創(chuàng)新血管支架的精度與質(zhì)量直接關(guān)乎患者生命安全,而精準(zhǔn)測量是保障支架品質(zhì)的核心。傳統(tǒng)測量效率低、誤差大的痛點(diǎn),長期困擾醫(yī)療器械企業(yè)研發(fā)與生產(chǎn)。您是否遇到過這些情況:? 血管支架檢測耗時(shí)太長,拖慢整體研發(fā)節(jié)奏?? 傳統(tǒng)測量方法受環(huán)境干擾大,數(shù)據(jù)穩(wěn)定性差?? 復(fù)雜結(jié)構(gòu)尺寸難測準(zhǔn),影響產(chǎn)品良率?如今,丹青科技 Werth 血管支架快速測量技術(shù),以創(chuàng)新配置、精準(zhǔn)算法與高效性能,為國內(nèi)醫(yī)療器械企業(yè)帶來測量解決方案的全新升級,助力醫(yī)療科技產(chǎn)業(yè)高質(zhì)量發(fā)展!1、核心配置 + 創(chuàng)新模式,破解行業(yè)測量痛點(diǎn)該系統(tǒng)搭載雙軸轉(zhuǎn)臺 + 飛行測量模式,支架固定在透明磨砂玻璃芯棒上,轉(zhuǎn)臺穩(wěn)定旋轉(zhuǎn)并沿軸向柵格掃描、三維拼接,無需頻繁啟停。變焦光學(xué)系統(tǒng) + 探針系統(tǒng)可靈活切換視野,大視野適配大直徑支架快速測量,小視野聚焦精細(xì)結(jié)構(gòu)降低誤差,5mm-20mm 支架測量誤差均達(dá)微米級。2、黑科技加持,數(shù)據(jù)精準(zhǔn)度再升級測量環(huán)境干擾與數(shù)據(jù)處理難題,曾是行業(yè)公認(rèn)的 “攔路虎”。Werth 系統(tǒng)憑借多項(xiàng)創(chuàng)新技術(shù),給出完美答案:? 極短曝光時(shí)間 + 可選閃光燈模式,有效消除運(yùn)動(dòng)偽影與外界光線干擾,車間復(fù)雜環(huán)境下也能穩(wěn)定輸出真實(shí)數(shù)據(jù);? 二維圖像三維疊加計(jì)算 + 3D 轉(zhuǎn) 2D 柵格拼接技術(shù),實(shí)現(xiàn) 360°-720° 全方位數(shù)據(jù)覆蓋,結(jié)合先進(jìn) 2D 擬合算法,精準(zhǔn)還原支架真實(shí)形態(tài);? 主動(dòng)跟蹤被測工件模式,實(shí)時(shí)適配工件微小位移,始終保持最佳測量姿態(tài),進(jìn)一步保障數(shù)據(jù)準(zhǔn)確性。在醫(yī)療創(chuàng)新日新月異的今天,測量效率就是研發(fā)速度,測量精度就是患者安全。丹青科技 Werth多傳感器坐標(biāo)測量技術(shù),用事實(shí)證明:好技術(shù)不僅要“測得準(zhǔn)”,更要“測得快”、“測得穩(wěn)”。
說明: Sycopro 3智能校準(zhǔn)系統(tǒng)|連接零煩惱,合規(guī)不費(fèi)力校準(zhǔn)黨狂喜!終于不用再為這些糟心事頭大啦 傳統(tǒng)計(jì)量校準(zhǔn)的那些難題,每一個(gè)都在消耗你的時(shí) 間與精力:校準(zhǔn)10臺不同品牌的卡尺,要切換3種軟件、手動(dòng)錄入200+組數(shù)據(jù),加班到深夜還怕輸錯(cuò)一個(gè)數(shù)字;審計(jì)時(shí)翻找半年前的校準(zhǔn)證書,翻遍 電腦文件夾都找不到,合規(guī)風(fēng)險(xiǎn)拉滿;批量儀器校準(zhǔn)排隊(duì)久,耽誤生產(chǎn)進(jìn)度;校準(zhǔn)數(shù)據(jù)分散在不同設(shè)備,無法統(tǒng)一管理,數(shù)字化轉(zhuǎn)型舉步維艱……這些痛點(diǎn),Sycopro 3 一次性幫你解決!作為Sylvac 推出的智能校準(zhǔn)管理系統(tǒng),它堪稱精密計(jì)量領(lǐng)域的 「效率神器」,讓校準(zhǔn)工作從此化繁為簡、輕松拿捏。全品牌通吃。設(shè)備連接零煩惱、秒適配。不管是Sylvac自家的千分尺、卡尺,還是市面上主流的第三方品牌測量設(shè)備,Sycopro 3 統(tǒng)統(tǒng)兼容!支持有線/無線自由連接,無需額外適配軟 件、即連即用,跨品牌儀器校準(zhǔn)流程一站搞定,再也不用為設(shè)備適配發(fā)愁,充分保護(hù)你現(xiàn)有測量設(shè)備投資。證書自動(dòng)生成,合規(guī)審核躺贏不費(fèi)力。內(nèi)置ISO 17025標(biāo)準(zhǔn)模板,校準(zhǔn)數(shù)據(jù)自動(dòng)計(jì)算、證 書一鍵生成,還支持企業(yè)個(gè)性化定制。數(shù)據(jù)精準(zhǔn)可 溯源,每一份證書都符合質(zhì)量體系審核要求,徹底 告別手動(dòng)制表的低效與失誤,讓合規(guī)審核更輕松。云端同步+全追溯,數(shù)據(jù)安全又省心。通過mySylvac平臺實(shí)現(xiàn)校準(zhǔn)數(shù)據(jù)實(shí)時(shí)云端同步, 儀器校準(zhǔn)歷史、證書記錄全生命周期可查。權(quán)限分級管理,數(shù)據(jù)安全有保障,合規(guī)監(jiān)控從此無憂,助 力企業(yè)實(shí)現(xiàn)計(jì)量數(shù)字化管理。黑科技拉滿,效率飆升30%+ 告別加班。 QR 碼快速 配置 :掃碼即可完成儀器參數(shù)設(shè)置 ,告別復(fù)雜操作; 藍(lán)牙自動(dòng)讀數(shù) :無 線傳輸測量數(shù) 據(jù),減少人工錄入誤差 ; 智能流程優(yōu)化 :校準(zhǔn)步驟自動(dòng)化 ,讓時(shí)間花在更有價(jià)值的地方 。定制化方案,全行業(yè)需求都能精準(zhǔn)適配。無論是航空航天領(lǐng)域0.001mm級的高精度校準(zhǔn)要求,還是汽車零部...
說明: 在、汽車、能源等領(lǐng)域,葉輪作為關(guān)鍵的動(dòng)力傳輸部件,其精確度直接影響到整個(gè)系統(tǒng)的性能和可靠性。今天,我們就以葉輪生產(chǎn)為例,分析瑞士丹青科技Fulcrum手動(dòng)三坐標(biāo)測量系統(tǒng)在葉輪測量中的應(yīng)用。葉輪測量挑戰(zhàn):葉輪設(shè)計(jì)復(fù)雜,翅片數(shù)量多,且形狀精度要求極高。傳統(tǒng)的測量方法存在以下挑戰(zhàn):1、測量效率低:傳統(tǒng)測量方法耗時(shí)較長,難以滿足大規(guī)模生產(chǎn)的需求。2、精度難以保證:由于葉輪結(jié)構(gòu)的復(fù)雜性,傳統(tǒng)測量工具難以達(dá)到高精度要求。3、數(shù)據(jù)處理復(fù)雜:測量數(shù)據(jù)量大,處理過程繁瑣,易出現(xiàn)誤差。Fulcrum解決方案:針對以上挑戰(zhàn),瑞士丹青科技Fulcrum手動(dòng)三坐標(biāo)測量機(jī)提供了一套完整的解決方案。1、快速掃描,提高生產(chǎn)效率使用Fulcrum測量系統(tǒng),葉輪的每個(gè)翅片都能在短時(shí)間內(nèi)完成掃描。相比傳統(tǒng)方法,縮短掃描時(shí)間,大大提高生產(chǎn)效率。2、精確測量,保證產(chǎn)品質(zhì)量Fulcrum的測量精度高達(dá)微米級別,能夠精確捕捉葉輪的每一個(gè)細(xì)節(jié)。掃描過程:Fulcrum磁性夾具模板可快速固定葉輪,確保所有點(diǎn)都可以被精確獲取。啟動(dòng)掃描程序,通過接觸式測量記錄葉輪初始位置特征。數(shù)據(jù)采集:掃描完成后,系統(tǒng)會(huì)自動(dòng)收集每個(gè)翅片的掃描數(shù)據(jù)。CAD比較:通過Aberlink 3D CAD軟件比較模塊,將實(shí)際掃描數(shù)據(jù)與設(shè)計(jì)CAD模型進(jìn)行對比分析。3、簡化數(shù)據(jù)處理,減少誤差Fulcrum手動(dòng)三坐標(biāo)的數(shù)據(jù)處理軟件具有智能分析功能,能夠自動(dòng)識別并標(biāo)記偏差部分,生成詳細(xì)的測量報(bào)告。以下是數(shù)據(jù)處理的優(yōu)勢:自動(dòng)化:減少了人工干預(yù),降低了數(shù)據(jù)處理過程中的誤差。可視化:通過3D模型直觀展示測量結(jié)果,便于工程師快速識別問題。報(bào)告生成:自動(dòng)生成詳細(xì)的測量報(bào)告,便于質(zhì)量控制和追溯。通過使用Fulcrum手動(dòng)三坐標(biāo)測量儀,可提高生產(chǎn)效率,使得葉輪測量時(shí)間大幅縮短,生產(chǎn)線流轉(zhuǎn)更加流暢。微米級別的測量精度確保葉輪質(zhì)量,減少了因測量不準(zhǔn)確導(dǎo)致的產(chǎn)品報(bào)廢和返工現(xiàn)象,降低...
說明: 汽車零件的精密測量中,有個(gè)讓人頭疼的“規(guī)矩”:基準(zhǔn)必須統(tǒng)一。這意味著,測量轉(zhuǎn)向半軸的核心部件——鐘形殼時(shí),內(nèi)外尺寸必須在同一個(gè)坐標(biāo)系、同一次裝夾下完成。零件一旦轉(zhuǎn)動(dòng)或移動(dòng),數(shù)據(jù)就可能“對不上”,基準(zhǔn)就失效了。為什么這個(gè)規(guī)矩這么“死”?因?yàn)殓娦螝げ皇瞧胀慵K膬?nèi)腔裝著高速旋轉(zhuǎn)的滾珠,承載著行車安全。圖紙白紙黑字要求:內(nèi)腔尺寸必須以外圓為基準(zhǔn)測量。傳統(tǒng)方法遇到一個(gè)現(xiàn)實(shí)困境:要想測內(nèi)外尺寸,就得轉(zhuǎn)動(dòng)零件;但一轉(zhuǎn),坐標(biāo)系就變了。就像你要畫一幅人臉的正側(cè)面像,卻不準(zhǔn)轉(zhuǎn)動(dòng)畫板——幾乎是個(gè)“不可能的任務(wù)”。問題出在測量儀器的“胳膊不夠長”大多數(shù)輪廓儀采用杠桿式傳感器,它的Z軸測量范圍就像人的胳膊長度,有限制。當(dāng)需要測量深度落差大的內(nèi)外特征時(shí),它的“胳膊”夠不著了,Z向范圍普遍≤90mm。工程師只能:測完外圓→移動(dòng)/轉(zhuǎn)動(dòng)零件→重新建立坐標(biāo)系→再測內(nèi)腔。基準(zhǔn)統(tǒng)一?早已在第一步就被打破。丹青Optacom的解法給儀器裝上“可伸縮的云臺”我們換了一條路:坐標(biāo)聯(lián)動(dòng)掃描技術(shù)。如果把測量想象成一次精密“手術(shù)”,Optacom不像傳統(tǒng)設(shè)備那樣只動(dòng)“手術(shù)刀”(測針),而是讓“手術(shù)臺”(坐標(biāo)軸)與“刀”協(xié)同運(yùn)動(dòng)。結(jié)果就是,它的Z向掃描范圍一舉拓展至≥225mm。帶來的改變是根本性的:鐘形殼被裝夾后,就再也不用動(dòng)。巨大的Z向空間允許傳感器自由探入內(nèi)腔深處,完整掃描內(nèi)外輪廓。一次裝夾,一個(gè)坐標(biāo)系,內(nèi)外尺寸全部搞定。圖紙上那個(gè)嚴(yán)格的“基準(zhǔn)統(tǒng)一”要求,從此從理論真正落地。為客戶帶來的,遠(yuǎn)不止“合規(guī)”1. 數(shù)據(jù)真正可信:基準(zhǔn)重合,測量結(jié)果直接反映裝配真實(shí)狀態(tài)。2. 效率大幅躍升:省去重復(fù)定位、坐標(biāo)重置的時(shí)間,檢測周期縮短超50%。3. 操作極度簡化:降低了人員技能要求,特別適合生產(chǎn)現(xiàn)場快速抽檢。4. 安全防線前移:為轉(zhuǎn)向系統(tǒng)這類安全關(guān)鍵件,提供了更可靠、更高效的質(zhì)控手段。測量不僅是判斷合格與否,更是工藝優(yōu)化的眼睛...
說明: 硅晶片在溫度變化過程中的形貌測量快速熱處理(RTP)是硅晶片制造過程中的一個(gè)重要步驟,在這一過程中,晶片會(huì)在短時(shí)間內(nèi)被加熱至高溫,然后以可控的方式緩慢冷卻,以賦予晶片所需的半導(dǎo)體特性。硅晶片在溫度變化過程中的形貌測量對其性能穩(wěn)定性至關(guān)重要。本文將探討瑞士丹青 S neox 三維輪廓測量系統(tǒng)在硅晶片溫度形貌測量方面的突出優(yōu)勢。硅晶片作為一種新型半導(dǎo)體材料,具有高熱導(dǎo)率、高電子遷移率和高穩(wěn)定性等優(yōu)點(diǎn),因此在、汽車電子、可再生能源等領(lǐng)域具有廣泛的應(yīng)用前景。然而,硅晶片在高溫度環(huán)境下的形貌變化對其性能有著重要影響,因此對其進(jìn)行精確的溫度形貌測量至關(guān)重要。瑞士丹青 S neox 三維輪廓測量系統(tǒng)是一款高精度的非接觸式三維形貌測量儀,能夠在不同溫度下對硅晶片進(jìn)行精確測量。通過采用先進(jìn)的光學(xué)掃描技術(shù),S neox 可以捕捉到晶片表面微小的形貌變化,為科研與生產(chǎn)提供可靠的數(shù)據(jù)支持。產(chǎn)品優(yōu)勢:1、高精度:瑞士丹青S neox 采用內(nèi)先進(jìn)的光學(xué)掃描技術(shù),測量精度高達(dá)納米級別,確保了測量結(jié)果的準(zhǔn)確性。2、非接觸式測量:避免了對碳化硅晶圓表面的物理損傷,確保了樣品的完整性。3、快速掃描:S neox具有快速掃描功能,能夠在短時(shí)間內(nèi)完成大量樣品的測量,提高工作效率。通過S neox 的精確測量,科研人員和企業(yè)可以更好地了解硅晶片在溫度變化過程中的形貌變化規(guī)律,進(jìn)而優(yōu)化生產(chǎn)工藝,提高產(chǎn)品質(zhì)量。此外,SensoSCAN軟件可協(xié)助自動(dòng)化操作,減少人工干預(yù),提高測量效率和重復(fù)性。瑞士丹青 S neox三維輪廓測量系統(tǒng)作為一款先進(jìn)的三維形貌測量儀,其在硅晶片溫度形貌測量方面具有顯著優(yōu)勢。借助S neox三維輪廓測量系統(tǒng) ,企業(yè)可以更好地掌握產(chǎn)品質(zhì)量,提高生產(chǎn)效率,為我國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展貢獻(xiàn)力量。
說明: 現(xiàn)代半導(dǎo)體制造的目標(biāo)是為便攜式產(chǎn)品開發(fā)具有越來越小和更薄封裝的電子設(shè)備。實(shí)現(xiàn)這一目標(biāo)最重要的步驟之一是通過機(jī)械研磨工藝將加工后的硅晶片從背面減薄至 50μm 以下。為了避免應(yīng)力和亞表面損傷,這對表面粗糙度要求非常高,在最終研磨步驟中,該粗糙度可能在 1 nm Ra 的范圍內(nèi)。測量這一等級的表面粗糙度的常用方法是通過共聚焦顯微鏡 (CFM)、白光干涉儀 (WLI) 或原子力顯微鏡 (AFM) 進(jìn)行單點(diǎn)或是劃線測量。但這些儀器的缺點(diǎn)是對機(jī)械環(huán)境噪聲敏感,測量時(shí)間長。這里,我們將介紹一種新型的散射光測量方法,該方法能夠在不到 30 秒的時(shí)間內(nèi)測量直徑300 mm整個(gè)晶圓表面。除了粗糙度,傳感器還同時(shí)測量翹曲、波紋度和缺陷。同時(shí)將展現(xiàn)采用不同粒度研磨表面的測試結(jié)果分析。 晶圓表面加工工藝過程極小和高密度電子產(chǎn)品的趨勢需要先進(jìn)的工藝來滿足設(shè)備的厚度和熱性能規(guī)格。這意味著處理后的硅晶片必須從其原始厚度超過 700 µm 減薄至 50 µm 或更小。最常見且成本相對較低的減薄方法是通過機(jī)械去除殘余硅的背面研磨。晶片固定在多孔真空吸盤上,IC(集成電路)面朝下。砂輪的旋轉(zhuǎn)軸與晶片的旋轉(zhuǎn)軸離軸定位(距離是晶片的半徑)。卡盤呈略呈圓錐形的形狀,以很小的傾斜度使晶片變形,以確保砂輪在研磨過程中僅接觸晶片的一半。由于卡盤的旋轉(zhuǎn)和砂輪的同時(shí)旋轉(zhuǎn),在晶片表面上產(chǎn)生了典型的螺旋劃痕圖案。根據(jù)砂輪的粒度以及轉(zhuǎn)速和進(jìn)給率等加工參數(shù),這種機(jī)械沖擊是造成粗糙度、應(yīng)力和誘發(fā)亞表面損傷的原因。因此,現(xiàn)代晶圓磨床從粗砂輪開始,先是快速去除多余硅,最后使用小粒度砂輪進(jìn)行精細(xì)研磨。當(dāng)減薄至 50 µm 以最大程度地減少次表面損傷和應(yīng)力時(shí),這個(gè)最終過程是絕對必要的。表面粗糙度通常應(yīng)在 Ra  當(dāng)前標(biāo)準(zhǔn)測量方法的局限性是砂輪與其大量單刀刃的相互作用,與硅表面經(jīng)歷不均...
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